全球首次實現在掃描電子顯微鏡上安裝聚焦X射線微區熒光分析!
-提高微量元素分析的靈敏度
-更大的信息深度, 有益于鍍層厚度分析
-將電子束微束分析和微區X射線熒光分析結果相結合, 顯著改善分析的精度
 

SEM能譜分析和微區X射線熒光的優缺點

Ø         SEM能譜分析的特點:

Ø         空間分辨率相對較高: 亞微米級

Ø         檢測極限在百分比級: 1~0.1%(weight). 不適合分析微量元素.

Ø         電子束韌致輻射(bremsstrahlung)造成譜背底很大

X射線激發熒光分析的特點:

Ø         檢測極限提高20~50倍, 可達到<50ppm

Ø         激發深度可達幾十微米, 特別適合多層鍍層的分析

Ø         非導電材料可直接分析

Ø         空間分辨率較差, 約幾十微米

Ø         結合SEM能譜和X射線熒光兩個譜, 可以大大提高分析的精確度.

iMOXS.SEM系統由以下單元組成:

-  小功率﹑空冷的微型聚焦X射線管(陽極材料有多種選擇)

-  聚焦型多毛細管X射線光學系統

-  掃描電鏡接口和對中法蘭

-  高壓控制器和電源單元(可選手動控制型或PC控制型)

-  iMOXS-Quant軟件包, 包括儀器控制﹑譜圖定性和定量分析等模塊