(1) 類型： CCI 干涉(相干相關干涉)
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 測量點數： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
更詳細參數和有關應用問題請垂詢辦事處產品負責人。

 

主要特點

•專利的相干相關算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒測量時間
•RMS重復性：0.03A

儀器介紹

TalysurfCCI三維非接觸形貌儀采用CCI(專利技術的相干相關算法)干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。

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